可自動插片的菱形石英舟

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021712311.8 申請日 -
公開（公告）號 CN212648200U 公開（公告）日 2021-03-02
申請公布號 CN212648200U 申請公布日 2021-03-02
分類號 H01L21/67(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I;H01L21/673(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 蘭鋒 申請（專利權(quán)）人 浙江泓芯半導體有限公司
代理機構(gòu) 浙江永鼎律師事務(wù)所 代理人 陸永強
地址 324000浙江省衢州市柯城區(qū)航埠鎮(zhèn)通航一路3號1幢、2幢、3幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種可自動插片的菱形石英舟，包括限位齒槽、連接擋板、固定板、側(cè)墊、插片機、自動安插桿以及頂板，所述限位齒槽設(shè)置于連接擋板的左側(cè)，所述連接擋板設(shè)置于固定板的左側(cè)，所述側(cè)墊設(shè)置于固定板的上下兩端，所述插片機通過自動安插桿固定設(shè)置于固定板的右側(cè)，所述頂板設(shè)置于插片機的右側(cè)，使用時，通過限位齒槽的內(nèi)部設(shè)置的矯正感應(yīng)器進行精確對位硅片，利用插片機實現(xiàn)了石英舟可以自動化插片，不需要在進行手工插片，同時上下兩側(cè)的側(cè)墊保護硅片，提高自動插片的使用安全度。本實用新型可以通過插片機部件實現(xiàn)自動化插片，同時可利用具有矯正感應(yīng)器的限位齒槽進行插片角度的矯正，提高自動化插片的精度，進而提高插片效率。??