高壓深刻蝕石英蓋板
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021712326.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN212648201U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-03-02 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212648201U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-03-02 |
| 分類號(hào) | H01L21/673(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 蘭鋒 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 浙江泓芯半導(dǎo)體有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 浙江永鼎律師事務(wù)所 | 代理人 | 陸永強(qiáng) |
| 地址 | 324000浙江省衢州市柯城區(qū)航埠鎮(zhèn)通航一路3號(hào)1幢、2幢、3幢 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種高壓深刻蝕石英蓋板，包括石英蓋板本體、散熱片、第一支撐板、第二支撐板、蓋板合頁(yè)以及加固槽，所述石英蓋板本體的表面設(shè)置有散熱片，所述第一支撐板設(shè)置于石英蓋板本體的左側(cè)，所述第二支撐板設(shè)置于石英蓋板本體的右側(cè)，所述蓋板合頁(yè)設(shè)置于石英蓋板本體的下側(cè)，所述加固槽活動(dòng)安裝于石英蓋板本體的后部，輔助使用承載裝置進(jìn)行多枚硅片的盛放，需要通過(guò)蓋板輔助承載裝置進(jìn)行硅片的保存，可用于保溫筒使用，從而保存硅片。本實(shí)用新型適用于高壓深刻蝕作用，其表面刻蝕液不易被自然風(fēng)干燥及與硅片接觸造成磨損碰撞，有助于提高散熱效率，延長(zhǎng)硅片的保存時(shí)長(zhǎng)。?? |
