一種外延片、平面型光電二極管及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910708340.2 申請日 -
公開（公告）號 CN110571300B 公開（公告）日 2021-08-13
申請公布號 CN110571300B 申請公布日 2021-08-13
分類號 H01L31/105;H01L31/0304;H01L31/18 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 胡艷;岳愛文;鐘行;李晶;李明;馬衛(wèi)東 申請（專利權(quán)）人 武漢電信器件有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京派特恩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 李梅香;張穎玲
地址 430074 湖北省武漢市洪山區(qū)郵科院路88號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明實(shí)施例公開了一種外延片，包括：襯底，以及位于所述襯底上的外延層；其中，所述襯底包括N型襯底；所述外延層，包括依次位于所述N型襯底上的耗盡區(qū)補(bǔ)償層以及I型耗盡層；所述耗盡區(qū)補(bǔ)償層為N型摻雜層，且其摻雜濃度在1e16cm?3至5e16cm?3的范圍內(nèi)。此外，本發(fā)明實(shí)施例還公開了一種平面型光電二極管、具有千兆位功能的無源光網(wǎng)絡(luò)模塊、以及一種平面型光電二極管的制備方法。