介質(zhì)隔離式壓力傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121798659.8 申請日 -
公開（公告）號 CN215492215U 公開（公告）日 2022-01-11
申請公布號 CN215492215U 申請公布日 2022-01-11
分類號 G01L19/14（2006.01）I;G01L19/06（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 張兵兵 申請（專利權）人 昆山靈科傳感技術有限公司
代理機構 上海盈盛知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 孫佳胤;高翠花
地址 215300 江蘇省蘇州市昆山開發(fā)區(qū)前進東路88號6號樓M1A棟2樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供一種介質(zhì)隔離式壓力傳感器，介質(zhì)隔離式壓力傳感器包括：基板；殼體，包括側壁及頂蓋，所述側壁與所述頂蓋密封連接，所述側壁由硬質(zhì)材料制成，所述頂蓋由柔性材料制成，所述殼體扣合在所述基板上，形成容納腔；至少一壓力傳感器芯片，固定在所述基板上，且置于所述容納腔內(nèi)；介質(zhì)液體，充滿所述容納腔，外界壓力能夠通過所述殼體、所述介質(zhì)液體傳導至所述壓力傳感器芯片。本實用新型的優(yōu)點在于，殼體包括由硬質(zhì)材料構成的側壁及柔性材料構成的頂蓋，能夠平衡測量精度及支撐力，兼顧了可靠性，也保證了介質(zhì)隔離式壓力傳感器的輸出，能夠避免單一殼體材質(zhì)帶來的缺點，大大提高了介質(zhì)隔離式壓力傳感器的性能。