新型晶圓半導(dǎo)體生產(chǎn)輔助設(shè)備
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202020123442.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN211707572U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-10-20 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN211707572U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-10-20 |
| 分類(lèi)號(hào) | B08B3/10(2006.01)I | 分類(lèi) | 清潔; |
| 發(fā)明人 | 俞偉;吳明 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 浙江藍(lán)特光學(xué)股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 嘉興中創(chuàng)致鴻知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 浙江藍(lán)特光學(xué)股份有限公司 |
| 地址 | 314023浙江省嘉興市秀洲區(qū)洪合鎮(zhèn)洪福路1108號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及晶圓半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，且公開(kāi)了新型晶圓半導(dǎo)體生產(chǎn)輔助設(shè)備，包括清洗箱，清洗箱的內(nèi)部設(shè)置有一個(gè)清洗框，清洗框的表面開(kāi)設(shè)有漏水孔，清洗框的內(nèi)壁上端鉸接有一塊矩形蓋板，清洗框的上表面固定連接有把手，清洗框的底板上等距均勻固定連接有矩形擋板，該新型晶圓半導(dǎo)體生產(chǎn)輔助設(shè)備，通過(guò)電機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)凸輪的轉(zhuǎn)動(dòng)在配合弧形桿，從而可以使弧形桿進(jìn)行上下移動(dòng)，弧形桿的上下移動(dòng)帶動(dòng)漂洗板的上下移動(dòng)，漂洗板的上下移動(dòng)的帶動(dòng)清洗框進(jìn)行上下移動(dòng)，從而對(duì)清洗框內(nèi)部的晶圓進(jìn)行上下抖動(dòng)的清洗，通過(guò)這樣漂洗的方式不僅可以使用大批量的清洗，還可以使晶圓清洗的更加干凈。?? |
