體聲波諧振器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023083463.9 申請日 -
公開（公告）號 CN213693649U 公開（公告）日 2021-07-13
申請公布號 CN213693649U 申請公布日 2021-07-13
分類號 H03H9/54（2006.01）I;H03H9/15（2006.01）I;H03H9/02（2006.01）I 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 黃韋勝 申請（專利權(quán)）人 武漢衍熙微器件有限公司
代理機構(gòu) 深圳紫藤知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 張曉薇
地址 430000湖北省武漢市江夏區(qū)經(jīng)濟開發(fā)區(qū)藏龍島梁山頭村惠風同慶花園一期G17-S棟1-2層6室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種體聲波諧振器。所述體聲波諧振器包括襯底，以及依次層疊設(shè)于所述襯底上的反射結(jié)構(gòu)、種子層、底電極、壓電層和頂電極；所述體聲波諧振器包括諧振區(qū)，以及位于所述諧振區(qū)兩側(cè)的第一非諧振區(qū)和第二非諧振區(qū)，所述底電極位于所述第一非諧振區(qū)和所述諧振區(qū)，所述頂電極位于所述諧振區(qū)和所述第二非諧振區(qū)，所述種子層在所述第一非諧振區(qū)和所述諧振區(qū)的厚度大于在所述第二非諧振區(qū)的厚度。本實用新型能夠提升諧振器的品質(zhì)因子和機電耦合系數(shù)，提升諧振器的整體良率。