一種薄膜材料相變溫度測(cè)量裝置及方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201810767563.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN109001160B | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-03-05 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN109001160B | 申請(qǐng)公布日 | 2021-03-05 |
| 分類號(hào) | G01N21/41(2006.01)I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 繆向水;陳子琪;童浩;王愿兵;蔡穎銳 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 武漢嘉儀通科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 湖北武漢永嘉專利代理有限公司 | 代理人 | 許美紅;王杰 |
| 地址 | 430075湖北省武漢市東湖新技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)未來(lái)科技城起步區(qū)A5北4號(hào)樓11層 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種薄膜材料相變溫度測(cè)量裝置，包括襯底、電極陣列、探測(cè)光光源、信號(hào)探測(cè)裝置、紅外測(cè)溫裝置和計(jì)算機(jī)；襯底為不透光襯底，電極陣列置于襯底上，待測(cè)薄膜覆蓋于電極陣列的表面，探測(cè)光光源向待測(cè)薄膜表面發(fā)射探測(cè)光，在探測(cè)光光斑落點(diǎn)平面內(nèi)，電極陣列在至少一個(gè)方向呈現(xiàn)周期性結(jié)構(gòu)，探測(cè)光的入射方向與電極的周期性變化方向相同；信號(hào)探測(cè)裝置獲取經(jīng)電極陣列衍射的探測(cè)光信號(hào)，傳輸至計(jì)算機(jī)；電極陣列的一端接電源正極、另一端接電源負(fù)極，通電后能夠?yàn)榇郎y(cè)薄膜加熱，紅外測(cè)溫裝置安裝于待測(cè)薄膜上方監(jiān)測(cè)待測(cè)薄膜的溫度，傳輸至計(jì)算機(jī)。本發(fā)明裝置及方法基于光學(xué)衍射，能夠準(zhǔn)確、快速地測(cè)量薄膜相變溫度，具有快速、無(wú)損測(cè)量的特點(diǎn)。?? |
