對準(zhǔn)標(biāo)記系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911205271.X 申請日 -
公開（公告）號 CN111354714B 公開（公告）日 2022-02-15
申請公布號 CN111354714B 申請公布日 2022-02-15
分類號 H01L23/544（2006.01）I;G03F1/42（2012.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 梁時元;劉智龍;權(quán)炳仁 申請（專利權(quán)）人 夏泰鑫半導(dǎo)體（青島）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市賽恩倍吉知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 彭輝劍;龔慧惠
地址 266000山東省青島市黃島區(qū)太白山路172號青島中德生態(tài)園雙創(chuàng)中心219室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種對準(zhǔn)標(biāo)記系統(tǒng)，其包括：第一組對準(zhǔn)標(biāo)記，其具有被分成群組的多個段，所述組彼此對稱；與所述第一組對準(zhǔn)標(biāo)記正交的第二組對準(zhǔn)標(biāo)記，所述第二組對準(zhǔn)標(biāo)記具有被分成群組的多個段，各組彼此對稱；和一與所述第一組對準(zhǔn)標(biāo)記和所述第二組對準(zhǔn)標(biāo)記對角設(shè)置的第三組對準(zhǔn)標(biāo)記，所述第三組對準(zhǔn)標(biāo)記具有被分成群組的多個段，并且所述群組正交于其各自的相鄰組。