一種基于機(jī)器視覺的芯片角度自動(dòng)旋轉(zhuǎn)校正方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201010019540.6 申請日 -
公開（公告）號 CN101758028B 公開（公告）日 2013-04-17
申請公布號 CN101758028B 申請公布日 2013-04-17
分類號 B07C5/02(2006.01)I 分類 將固體從固體中分離；分選;
發(fā)明人 龔時(shí)華;李斌;吳濤;黃禹;李海洲;王龍文;林康華 申請（專利權(quán)）人 東莞華科精密矽電設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 東莞市華南專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 梁永宏
地址 523808 廣東省東莞市松山湖科技產(chǎn)業(yè)園區(qū)科技九路1號研發(fā)樓310室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種基于機(jī)器視覺的芯片角度自動(dòng)旋轉(zhuǎn)校正方法，包括：獲取芯片膜上芯片i的原始位置坐標(biāo)Xi，Yi及偏轉(zhuǎn)角度θi；獲取芯片膜的旋轉(zhuǎn)中心位置坐標(biāo)Ox，Oy；反算芯片i理論旋轉(zhuǎn)后理論位置坐標(biāo)X′i，Y′i；選取芯片膜上的芯片m，設(shè)m＝1；將芯片膜以芯片m的偏轉(zhuǎn)角度θm進(jìn)行實(shí)際旋轉(zhuǎn)；獲取該芯片實(shí)際旋轉(zhuǎn)后實(shí)際位置坐標(biāo)與該芯片理論旋轉(zhuǎn)后理論位置坐標(biāo)X′m，Y′m間的偏差λmx，λmy；判斷偏差λmx，λmy是否大于某一閾值，若是，則修正旋轉(zhuǎn)中心位置坐標(biāo)O′x，O′y，重新反算修正后的該芯片理論旋轉(zhuǎn)后理論位置坐標(biāo)X″m，Y″m，并移動(dòng)進(jìn)行芯片位置校正；否則，按照該芯片理論旋轉(zhuǎn)后理論位置坐標(biāo)X′m，Y′m移動(dòng)進(jìn)行芯片位置校正；進(jìn)行下一顆芯片角度校正。本發(fā)明能夠結(jié)合機(jī)器視覺使得芯片準(zhǔn)確地校正，校正結(jié)果的精確性較高，從而進(jìn)一步提高芯片的分選速度。