微發(fā)光器件的轉(zhuǎn)印裝置、轉(zhuǎn)印方法及顯示面板

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110645839.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113394137A 公開(kāi)（公告）日 2021-09-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN113394137A 申請(qǐng)公布日 2021-09-14
分類(lèi)號(hào) H01L21/67;H01L21/683;H01L23/544;H01L33/48;H01L27/15 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 李蒙蒙;盛翠翠;董小彪;葛泳;王程功 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 成都辰顯光電有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京東方億思知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 代理人 尹紅敏
地址 611731 四川省成都市高新區(qū)天映路146號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明實(shí)施例提供一種微發(fā)光器件的轉(zhuǎn)印裝置、轉(zhuǎn)印方法及顯示面板，微發(fā)光器件的轉(zhuǎn)印裝置包括：拾取基板，用于接收待轉(zhuǎn)移的微發(fā)光器件，拾取基板包括層疊設(shè)置的第一本體及第一粘接層，第一粘接層背離第一本體的表面具有用于與微發(fā)光器件對(duì)位的第一對(duì)位標(biāo)記；目標(biāo)基板，用于接收從拾取基板轉(zhuǎn)移的微發(fā)光器件，目標(biāo)基板和拾取基板相對(duì)可移動(dòng)設(shè)置，目標(biāo)基板包括層疊設(shè)置的第二本體及用于粘接微發(fā)光器件的第二粘接層；激光器，用于發(fā)射激光以使微發(fā)光器件由第一粘接層脫落。本發(fā)明實(shí)施例的轉(zhuǎn)印裝置通過(guò)在第一粘接層上設(shè)置第一對(duì)位標(biāo)記能夠提高微發(fā)光器件和拾取基板的對(duì)位精度，提高微發(fā)光器件轉(zhuǎn)移技術(shù)的良率。