一種多晶硅片制絨裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020384499.1 申請日 -
公開（公告）號 CN211897171U 公開（公告）日 2020-11-10
申請公布號 CN211897171U 申請公布日 2020-11-10
分類號 C30B33/10(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 傅華;高小云;劉兵;金炳生 申請（專利權）人 晶瑞電子材料股份有限公司
代理機構(gòu) 蘇州國誠專利代理有限公司 代理人 王麗
地址 215000 江蘇省蘇州市吳中經(jīng)濟開發(fā)區(qū)河東工業(yè)園善豐路168號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種多晶硅片制絨裝置，包括容置有制絨液的制絨槽以及安裝在制絨槽內(nèi)用于承載并帶動多晶硅片移動的若干移動輥，制絨槽的頂端開口，制絨槽的底端設置有多個進液管，制絨液通過多個進液管進入制絨槽內(nèi)；制絨槽的兩側(cè)還設置有一對貫穿口，多晶硅片通過一對貫穿口穿過制絨槽；若干移動輥轉(zhuǎn)動設置在制液槽內(nèi)用于帶動多晶硅片進行移動；單個移動輥上設置有用于承載多晶硅片的環(huán)形容置槽；制絨槽上設置有電加熱管。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，制絨槽包括內(nèi)殼體和外殼體，在內(nèi)殼體和外殼體之間的間隙內(nèi)設置有多個電加熱管，通過加熱的方式提高溫度，尤其是在低溫環(huán)境下，能夠有效提高制絨效率，方便實用。??