一種硅異質(zhì)結(jié)太陽電池用TCO薄膜的制作設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020646558.8 申請日 -
公開（公告）號 CN211929515U 公開（公告）日 2020-11-13
申請公布號 CN211929515U 申請公布日 2020-11-13
分類號 H01L31/18(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉正新;謝毅;石建華;孟凡英;周華 申請（專利權(quán)）人 中威新能源（成都）有限公司
代理機構(gòu) 成都時譽知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 中威新能源（成都）有限公司
地址 610000四川省成都市雙流西南航空港經(jīng)濟開發(fā)區(qū)內(nèi)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種硅異質(zhì)結(jié)太陽電池用TCO薄膜的制作設(shè)備，硅片導入腔和/或沉積腔和/或緩沖腔安裝有真空泵、加熱器和冷凝泵，利用真空泵、加熱器和冷凝泵，真空泵和冷凝泵配合使用，設(shè)備能夠快速排除腔室內(nèi)的水氣，降低腔室中的水氣分壓，并將水氣分壓保持在1x10?3Pa以下；所述沉積腔和/或緩沖腔還安裝有水氣供給裝置，能夠向相應(yīng)腔室內(nèi)供應(yīng)水氣，從而將水氣分壓穩(wěn)定在1x10?5Pa以上，避免TCO薄膜產(chǎn)生脫落。針對硅異質(zhì)結(jié)太陽電池制作過程中水氣含量高、受工況和環(huán)境影響波動范圍大，影響太陽電池性能的問題，有效控制薄膜制作環(huán)境中水氣含量，提高TCO薄膜性能和穩(wěn)定性，從而提高太陽電池性能和制程的穩(wěn)定性。??