基于微通道板三維結(jié)構(gòu)的高靈敏度氣體傳感器制作方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201310485008.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN103543183B | 公開(kāi)（公告）日 | 2016-05-04 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN103543183B | 申請(qǐng)公布日 | 2016-05-04 |
| 分類(lèi)號(hào) | G01N27/12(2006.01)I | 分類(lèi) | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 朱一平;王連衛(wèi) | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 上海歐普泰科技創(chuàng)業(yè)股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海伯瑞杰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 華東師范大學(xué);上海歐普泰科技創(chuàng)業(yè)有限公司;上海歐普泰科技創(chuàng)業(yè)股份有限公司 |
| 地址 | 200062 上海市普陀區(qū)中山北路3663號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了基于微通道板三維結(jié)構(gòu)的高靈敏度氣體傳感器及其制作方法，由檢測(cè)模塊和加熱模塊兩部分組成；檢測(cè)模塊和加熱模塊之間通過(guò)導(dǎo)電漿料粘合；檢測(cè)模塊和加熱模塊分別設(shè)置有兩個(gè)引線(xiàn)引出電極，分別為檢測(cè)電極和加熱電極，所述的檢測(cè)模塊和加熱模塊封裝于封裝管殼內(nèi)，所述的封裝管殼上共有至少四個(gè)電極；所述的檢測(cè)模塊，其結(jié)構(gòu)自上而下依次為上電極、微通道板和下電極；所述的加熱模塊，其結(jié)構(gòu)自下而上依次為隔熱絕緣襯底材料、加熱電阻線(xiàn)圈和絕緣薄膜。其有益效果是：提高氣敏材料薄膜的有效比表面積，從而提升了氣體傳感器的靈敏度；微通道板的多孔道結(jié)構(gòu)有利于被檢測(cè)氣體的順利通過(guò)，可提高器件的測(cè)試靈敏度和反應(yīng)速度。 |
