一種制作球面硅微通道板的裝置及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510232926.8 申請日 -
公開（公告）號 CN105016293B 公開（公告）日 2017-03-22
申請公布號 CN105016293B 申請公布日 2017-03-22
分類號 B81C1/00(2006.01)I;H01J9/00(2006.01)I 分類 微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)〔7〕;
發(fā)明人 王連衛(wèi);張弛;李勱;朱一平;徐少輝 申請（專利權(quán)）人 上海歐普泰科技創(chuàng)業(yè)股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海伯瑞杰知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 吳澤群
地址 200062 上海市普陀區(qū)中山北路3663號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種制作球面硅微通道板的裝置及其制備方法，包括切割成圓形的硅微通道板，所述的硅微通道板置于一模具臺中，所述的模具臺由中心設(shè)有與硅微通道板大小匹配的臺階孔，硅微通道板置于臺階孔中；模具臺上設(shè)置有重壓片，所述重壓片完全覆蓋臺階孔；模具臺置于一石英架上；將石英架、模具臺、重壓片和硅微通道板置于氧化爐管中。本發(fā)明具有以下有益效果：1.本發(fā)明是通過模具對熱氧化時的氧氣進(jìn)行引導(dǎo)形成梯度。并且模具還會對球面微通道表面起到一定的約束作用，以助于達(dá)到確定的曲率半徑。2.使用模具臺控制氧化梯度，使得氧化層厚度也形成梯度，引起梯度應(yīng)力，釋放該應(yīng)力即形成球面的硅微通道板。