一種測(cè)量硅片幾何尺寸的裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201120498717.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN202361917U | 公開（公告）日 | 2012-08-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN202361917U | 申請(qǐng)公布日 | 2012-08-01 |
| 分類號(hào) | G01B5/02(2006.01)I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 楊紅;朱泓 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 江蘇宏寶光電科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 柏尚春 |
| 地址 | 215618 江蘇省蘇州市張家港市經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)（楊舍鎮(zhèn)河北村） | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開一種測(cè)量硅片幾何尺寸的裝置，包括鋼板和泡沫墊；所述鋼板的板面尺寸與泡沫墊的墊面尺寸大小相同；所述泡沫墊的墊面與鋼板的板面緊密貼合，泡沫墊固定在鋼板上；所述泡沫墊上設(shè)有用于放置硅片的凹槽；所述凹槽上面的四個(gè)角為倒角；所述凹槽邊緣及其倒角處標(biāo)有測(cè)量對(duì)應(yīng)硅片邊長(zhǎng)范圍和倒角長(zhǎng)度范圍的刻度。本實(shí)用新型所提供的測(cè)量硅片幾何尺寸的裝置具有以下優(yōu)點(diǎn)：一方面該裝置采用泡沫制成的泡沫墊，對(duì)硅片啟到了保護(hù)作用；另一方面該裝置只需一人操作就可方便快捷的測(cè)量出硅片幾何尺寸是否在合格范圍內(nèi)，提供了工作效率。 |
