一種單晶爐拉升腔體用清理工具

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201120531743.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN202401159U 公開(kāi)（公告）日 2012-08-29
申請(qǐng)公布號(hào) CN202401159U 申請(qǐng)公布日 2012-08-29
分類(lèi)號(hào) C30B15/00(2006.01)I;B08B1/00(2006.01)I 分類(lèi) 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 馮東印;朱泓 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 江蘇宏寶光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京蘇高專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 柏尚春
地址 215618 江蘇省蘇州市張家港市經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)（楊舍鎮(zhèn)河北村）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)一種單晶爐拉升腔體用清理工具，包括清潔圓盤(pán)和連接柄；所述連接柄與清潔圓盤(pán)的中部連接。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型所提供的單晶爐拉升腔體用清理工具可更便捷清理拉升腔內(nèi)部的粉塵，并且清潔的更徹底，在節(jié)省生產(chǎn)時(shí)間的同時(shí)，利于產(chǎn)出更高質(zhì)量的單晶，制造更純凈的產(chǎn)品。