激光檢測系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920181798.2 申請日 -
公開（公告）號 CN209673647U 公開（公告）日 2019-11-22
申請公布號 CN209673647U 申請公布日 2019-11-22
分類號 G01N21/73（2006.01）; G01N21/01（2006.01） 分類 測量；測試;
發(fā)明人 潘從元; 李朝陽; 安寧; 徐勇; 查振春 申請（專利權(quán)）人 安徽創(chuàng)譜儀器科技有限公司
代理機構(gòu) 合肥誠興知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 合肥金星機電科技發(fā)展有限公司; 安徽創(chuàng)譜儀器科技有限公司
地址 230088 安徽省合肥市高新區(qū)皖水路228號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種激光檢測系統(tǒng)，包括激光源、二向色鏡以及聚焦鏡組，激光源與二向色鏡之間設(shè)置有反射鏡，二向色鏡的鏡面與其入射光呈夾角式布置，激光源發(fā)出的激光束依次經(jīng)過反射鏡、二向色鏡、聚焦鏡組聚焦至樣品表面，燒蝕產(chǎn)生的等離子體信號經(jīng)由聚焦鏡組、二向色鏡反射至分析單元。上述方案通過反射鏡的設(shè)置，當(dāng)激光源發(fā)出的激光束經(jīng)過二向色鏡后發(fā)生偏移時，只需要調(diào)整反射鏡的反射角度就可以將二向色鏡透射后的激光束校正回預(yù)定光路上，這樣就不需要對二向色鏡以及聚焦鏡組進(jìn)行調(diào)整，使得調(diào)節(jié)十分方便。