一種基板載臺(tái)及蒸鍍機(jī)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202122654285.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN216107174U | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-03-22 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN216107174U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-03-22 |
| 分類(lèi)號(hào) | C23C14/50（2006.01）I;C23C14/24（2006.01）I | 分類(lèi) | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 朱曉慶;周文斌;王衛(wèi)衛(wèi);徐超;李高敏;馮峰;孫劍;高裕弟 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 昆山夢(mèng)顯電子科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京遠(yuǎn)智匯知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 林波 |
| 地址 | 215300江蘇省蘇州市昆山市晨豐路188號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及蒸鍍機(jī)技術(shù)領(lǐng)域，公開(kāi)一種基板載臺(tái)及蒸鍍機(jī)。其中基板載臺(tái)包括載臺(tái)本體，載臺(tái)本體上設(shè)置有階梯槽，沿階梯槽的槽深方向，階梯槽至少包括第一階梯和第二階梯，第一階梯形成第一放置位，第二階梯形成第二放置位，第一放置位和第二放置位的橫截面形狀不同，第一放置位和第二放置位用于放置與其橫截面形狀適配的基板。本實(shí)用新型通過(guò)在載臺(tái)本體上設(shè)置階梯槽，形成沿階梯槽槽深方向的至少一個(gè)第一放置位和至少一個(gè)第二放置位，且第一放置位與第二放置位的橫截面形狀不同，使得同一個(gè)載臺(tái)本體可以用于放置不同形狀的基板，提高了基板載臺(tái)的通用性，降低了成本低；在需要針對(duì)不同形狀的基板蒸鍍時(shí)，無(wú)需更換基板載臺(tái)，提高了工作效率。 |
