一種硅基微顯示器及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110995493.7 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN113611730A 公開（公告）日 2021-11-05
申請公布號(hào) CN113611730A 申請公布日 2021-11-05
分類號(hào) H01L27/32（2006.01）I;H01L51/50（2006.01）I;H01L51/52（2006.01）I;H01L51/56（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王衛(wèi)衛(wèi);周文斌;馮峰;范國振;徐超;曹云嶺;張峰;孫劍;高裕弟 申請（專利權(quán)）人 昆山夢顯電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京遠(yuǎn)智匯知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 范坤坤
地址 215300江蘇省蘇州市昆山市晨豐路188號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種硅基微顯示器及其制備方法，制備方法包括：提供驅(qū)動(dòng)背板；在驅(qū)動(dòng)背板的一側(cè)依次形成第一電極層、第一功能層、白光發(fā)光層、第二功能層和第二電極層；其中，第一功能層和第二功能層中的至少一層包括通過多次錯(cuò)位蒸鍍方式形成的厚度不完全相同的微腔調(diào)節(jié)層；不同厚度的微腔調(diào)節(jié)層用于增強(qiáng)白光發(fā)光層發(fā)射的白光中不同顏色的光。通過在掩膜版的作用下，采用多次錯(cuò)位蒸鍍的方式，實(shí)現(xiàn)形成厚度不完全相同的微腔調(diào)節(jié)層，使得可以實(shí)現(xiàn)紅色子像素、綠色子像素、藍(lán)色子像素對應(yīng)的微腔厚度不一致。保證了RGB對應(yīng)的子像素點(diǎn)發(fā)光時(shí)，白光光譜峰值最大時(shí)分別對應(yīng)RGB的峰位，最終實(shí)現(xiàn)硅基微顯示器的亮度提升，改善了亮度提升困難的問題。