一種面蒸發(fā)源噴嘴結(jié)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202121827837.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN215328330U 公開（公告）日 2021-12-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN215328330U 申請(qǐng)公布日 2021-12-28
分類號(hào) C23C14/24（2006.01）I;C23C14/12（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 王衛(wèi)衛(wèi);周文斌;朱曉慶;范國(guó)振;沈倩;孫劍;高裕弟 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 昆山夢(mèng)顯電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京遠(yuǎn)智匯知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 林波
地址 215300江蘇省蘇州市昆山市晨豐路188號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及有機(jī)發(fā)光顯示器制作技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種面蒸發(fā)源噴嘴結(jié)構(gòu)，面蒸發(fā)源噴嘴結(jié)構(gòu)設(shè)置于真空腔室和基板之間，包括：第一結(jié)構(gòu)層，第一結(jié)構(gòu)層中設(shè)有多個(gè)噴孔結(jié)構(gòu)，噴孔結(jié)構(gòu)與真空腔室連通，噴孔結(jié)構(gòu)用于將真空腔室中的有機(jī)材料蒸氣噴出；第二結(jié)構(gòu)層，第二結(jié)構(gòu)層連接于第一結(jié)構(gòu)層靠近基板的一側(cè)，第二結(jié)構(gòu)層上設(shè)有多個(gè)引導(dǎo)縫隙，引導(dǎo)縫隙的數(shù)量與噴孔結(jié)構(gòu)的數(shù)量相等，多個(gè)引導(dǎo)縫隙與多個(gè)噴孔結(jié)構(gòu)一一對(duì)應(yīng)設(shè)置，引導(dǎo)縫隙的一端與噴孔結(jié)構(gòu)連通，引導(dǎo)縫隙的另一端用于將有機(jī)材料蒸氣引導(dǎo)向基板。通過(guò)上述結(jié)構(gòu)，該面蒸發(fā)源噴嘴結(jié)構(gòu)能夠有效改善蒸鍍陰影，降低蒸鍍不良，提高產(chǎn)品質(zhì)量。