一種提高器件強度的板級封裝方法及結(jié)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110728977.5 申請日 -
公開(公告)號 CN113643990A 公開(公告)日 2021-11-12
申請公布號 CN113643990A 申請公布日 2021-11-12
分類號 H01L21/56(2006.01)I;H01L23/31(2006.01)I;H01L23/528(2006.01)I;H05K3/40(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請(專利權(quán))人 華宇華源電子科技(深圳)有限公司
代理機構(gòu) 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 葉新平
地址 518118廣東省深圳市坪山新區(qū)田頭馬鞍嶺路55號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種提高器件強度的板級封裝方法:步驟1,在載體材料表面形成一層可剝離金屬層;步驟2,在可剝離金屬層表面涂一層感光塑封料;步驟3,對感光塑封料進行曝光、顯影、固化,在表面做出開窗;步驟4,在感光塑封料表面再貼一層感光膜;步驟5,感光膜的開窗位置與感光塑封料的開窗位置相同,感光膜的開窗尺寸大于感光塑封料的開窗尺寸;步驟6,進行電鍍銅,形成上大小下的銅柱;步驟7,退掉感光膜,露出銅柱,形成固定的基島;步驟8,在基島上進行芯片貼裝;步驟9,進行二次塑封;步驟10,在二次塑封料表面,將芯片及作為承接盤的基島引出;步驟11,將盲孔及二次塑封料表面金屬化處理;步驟12,完成芯片電極和電極引出承接盤互聯(lián)。