一種晶圓倒盒裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111244045.X 申請日 -
公開（公告）號 CN113690169A 公開（公告）日 2021-11-23
申請公布號 CN113690169A 申請公布日 2021-11-23
分類號 H01L21/677 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 錢誠;童建;周志勇;霍召軍 申請（專利權(quán)）人 亞電科技南京有限公司
代理機構(gòu) 北京商專潤文專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 陳平
地址 210000 江蘇省南京市江寧區(qū)雙龍大道1347號同曦大廈605-7室（江寧開發(fā)區(qū)）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及一種晶圓倒盒裝置，用于將晶圓從一個晶圓盒轉(zhuǎn)移到另一個晶圓盒完成倒盒。需要進行倒盒時，滿載晶圓的晶圓盒放置到第一旋轉(zhuǎn)組件上，空的晶圓盒放置到第二旋轉(zhuǎn)組件上，第一旋轉(zhuǎn)組件和第二旋轉(zhuǎn)組件旋轉(zhuǎn)使晶圓盒相對設(shè)置，之后由推動總成推動第一旋轉(zhuǎn)組件上的晶圓盒內(nèi)的晶圓推動到第二旋轉(zhuǎn)組件上的晶圓盒內(nèi)，而后，第一旋轉(zhuǎn)組件和第二旋轉(zhuǎn)組件旋轉(zhuǎn)回歸圖位置，滿載晶圓的晶圓盒和空的晶圓盒均被機械手抓走，可繼續(xù)進行下一個晶圓的轉(zhuǎn)移。