一種拋光液分流裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201920106425.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN209364399U 公開(kāi)（公告）日 2019-09-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN209364399U 申請(qǐng)公布日 2019-09-10
分類(lèi)號(hào) B24B57/02（2006.01）I; B24B57/00（2006.01）I 分類(lèi) 磨削；拋光;
發(fā)明人 張澤芳; 張文娟 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 臨汾博利士納米材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京中政聯(lián)科專(zhuān)利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 臨汾博利士納米材料有限公司
地址 041500 山西省臨汾市襄汾縣新城鎮(zhèn)趙曲村
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種拋光液分流裝置，包括過(guò)濾箱體、進(jìn)液管、拉環(huán)、蓋板、第一固定板、第二固定板、濾筒、濾孔、電機(jī)、轉(zhuǎn)軸、分流管、控制閥、分流板和噴孔；過(guò)濾箱體的上端開(kāi)口處設(shè)置有蓋板；過(guò)濾箱體的頂部側(cè)壁上設(shè)置有進(jìn)料口，進(jìn)料口處安裝有進(jìn)液管；濾筒位于第一固定板和第二固定板內(nèi)，并分別與第一固定板和第二固定板轉(zhuǎn)動(dòng)連接；濾筒的外周面上等間距設(shè)置有濾孔；轉(zhuǎn)軸的頂端與濾筒連接，轉(zhuǎn)軸的底端與電機(jī)的輸出端連接；過(guò)濾箱體外周面的底部上均勻設(shè)置有多組分流出口；分流管上安裝有控制閥；且分流板的底面均勻設(shè)置有多組噴孔。本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)了在對(duì)拋光液進(jìn)行分流時(shí)，通過(guò)過(guò)濾除雜，提高拋光液的質(zhì)量，使得晶片平整度，晶片表面質(zhì)量得到提高。