一種基于DMD的光刻機圖形拼接誤差的檢測與修正方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111532272.2 申請日 -
公開（公告）號 CN114488704A 公開（公告）日 2022-05-13
申請公布號 CN114488704A 申請公布日 2022-05-13
分類號 G03F7/20（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 廉治華;謝軍;劉敏;樊廷慧;程衛(wèi)濤 申請（專利權(quán)）人 西安金百澤電路科技有限公司
代理機構(gòu) 深圳市千納專利代理有限公司 代理人 -
地址 516081廣東省惠州市大亞灣區(qū)響水河龍山六路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種基于DMD的光刻機圖形拼接誤差的檢測與修正方法，包括線路圖形設(shè)計；拼接重疊區(qū)域設(shè)定；拼接圖形設(shè)計；線路圖形曝光顯影；拼接圖形曝光顯影；重合線條判斷；DMD偏移位置判斷；DMD位置補償；上述檢測與修正方法，將基準圖形和偏移圖形分別利用基準DMD和非基準DMD在透明片上的拼接重疊區(qū)域內(nèi)進行曝光，判斷非基準DMD曝光的偏移圖形與基準DMD曝光的基準圖形的重合線條，根據(jù)重合線條判斷非基準DMD與基準DMD的位置是否有偏移，有偏移則根據(jù)線條預(yù)設(shè)間距值調(diào)整非基準DMD的位置，可節(jié)省測量時間，提高了檢測效率，同時避免受測量儀器的誤差影響，以及圖形拼接誤差測量不精準帶來的干擾。