一種低功耗的綠色環(huán)保屏的TFT基板制作工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110051146.9 申請日 -
公開（公告）號 CN112885779A 公開（公告）日 2021-06-01
申請公布號 CN112885779A 申請公布日 2021-06-01
分類號 H01L21/77;H01L27/12 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 吳汝健;李建華 申請（專利權(quán)）人 廣州易博士管理咨詢有限公司
代理機構(gòu) 成都魚爪智云知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 趙晨宇
地址 511458 廣東省廣州市南沙區(qū)豐澤東路106號（自編1號樓）X1301一B5667（集群注冊）（JM）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提出了一種低功耗的綠色環(huán)保屏的TFT基板制作工藝，涉及顯示屏領(lǐng)域。一種低功耗的綠色環(huán)保屏的TFT基板制作工藝，包括如下步驟：在玻璃板上形成多晶硅有源層，在上述多晶硅有源層上覆蓋柵極絕緣層，將上述柵極絕緣層通過F型離子摻雜形成F型阱，在上述F型阱中通過PMOS輕摻雜注入形成PMOS器件漏輕摻雜結(jié)構(gòu)，對上述PMOS器件漏輕摻雜結(jié)構(gòu)進行摻氮處理，在上述柵極絕緣層上形成第一柵極和源漏極。本發(fā)明能夠使環(huán)保屏更省電，并延長環(huán)保屏的使用壽命。