光學(xué)膜厚在線(xiàn)測(cè)量折射率的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200710054021.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN100437024C 公開(kāi)（公告）日 2008-11-26
申請(qǐng)公布號(hào) CN100437024C 申請(qǐng)公布日 2008-11-26
分類(lèi)號(hào) G01B11/06(2006.01);G01N21/41(2006.01) 分類(lèi) 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 趙升林;孫龍;菊池和夫 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 南陽(yáng)中光學(xué)機(jī)電裝備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 鄭州聯(lián)科專(zhuān)利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 河南中光學(xué)集團(tuán)有限公司;南陽(yáng)中光學(xué)機(jī)電裝備有限公司
地址 473000河南省南陽(yáng)市工業(yè)路508號(hào)河南中光學(xué)集團(tuán)有限公司
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種光學(xué)膜厚在線(xiàn)測(cè)量折射率的方法，該方法利用計(jì)算機(jī)對(duì)膜層的實(shí)時(shí)折射率進(jìn)行在線(xiàn)測(cè)量，并利用實(shí)時(shí)折射率值對(duì)監(jiān)控電壓信號(hào)的理論變化曲線(xiàn)進(jìn)行修正，當(dāng)鍍膜曲線(xiàn)進(jìn)行到峰值點(diǎn)或谷值點(diǎn)的時(shí)候，自動(dòng)計(jì)算出實(shí)時(shí)折射率，修正停止點(diǎn)電壓值和理論曲線(xiàn)，并將實(shí)時(shí)折射率顯示在屏幕上。從而可以剔除蒸鍍過(guò)程中各種隨機(jī)的不可控因素對(duì)監(jiān)控信號(hào)的影響，準(zhǔn)確地計(jì)算和控制蒸鍍停止點(diǎn)，同時(shí)，可以直觀、精確地顯示觀察蒸鍍情況的理論曲線(xiàn)和實(shí)際曲線(xiàn)的實(shí)時(shí)變化，還可以對(duì)鍍件蒸鍍的工藝條件和環(huán)境各項(xiàng)因素進(jìn)行改進(jìn)和調(diào)整，改善光學(xué)鍍膜人機(jī)系統(tǒng)諸要素對(duì)鍍膜工藝質(zhì)量的保障水平。