一種焰熔法生長(zhǎng)光學(xué)級(jí)鈦酸鍶單晶體裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710575402.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN107236992B 公開(kāi)（公告）日 2019-11-29
申請(qǐng)公布號(hào) CN107236992B 申請(qǐng)公布日 2019-11-29
分類號(hào) C30B29/32;C30B11/10 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 劉旭東;畢孝國(guó);惠宇;孫旭東 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 沈陽(yáng)鑫譜晶體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 大連智高專利事務(wù)所(特殊普通合伙) 代理人 蓋小靜
地址 116622 遼寧省大連市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)學(xué)府大街10號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種焰熔法生長(zhǎng)光學(xué)級(jí)鈦酸鍶單晶體裝置，包括：升降機(jī)構(gòu)、結(jié)晶臺(tái)、爐體、生長(zhǎng)室、燃燒器、棒體原料、送料機(jī)構(gòu)；所述結(jié)晶臺(tái)安裝在升降機(jī)構(gòu)上，單晶體在結(jié)晶臺(tái)上進(jìn)行結(jié)晶，所述爐體內(nèi)部的腔室為生長(zhǎng)室，單晶體置于生長(zhǎng)室中，所述燃燒器置于爐體上，燃燒器底部的噴嘴與生長(zhǎng)室相連通，棒體原料穿過(guò)燃燒器置于生長(zhǎng)室中的單晶體上方，所述送料機(jī)構(gòu)置于棒體原料頂部。本申請(qǐng)?zhí)岣吡司w穩(wěn)定生長(zhǎng)所需給料量的控制精度，進(jìn)而提高了晶體質(zhì)量和成品率，降低了晶體生長(zhǎng)成本。