一種含微量稀土元素的鎳錸合金旋轉(zhuǎn)管狀靶材及制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> PCT/CN2019/108211 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) WO2021046927A1 公開(公告)日 2021-03-18
申請(qǐng)公布號(hào) WO2021046927A1 申請(qǐng)公布日 2021-03-18
分類號(hào) C23C14/35;C22C1/04;C22C19/03;C22F1/10 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆;用金屬材料對(duì)材料的鍍覆;表面化學(xué)處理;金屬材料的擴(kuò)散處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆;金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 WU, YUNING;吳宇寧;YUAN, ZHIZHONG;袁志鐘;QING, HAIBIAO;卿海標(biāo) 申請(qǐng)(專利權(quán))人 南京達(dá)邁科技實(shí)業(yè)股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 NANJING RUIZHIBO INTELLECTUAL PROPERTY AGENCY CO., LTD.;南京睿之博知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
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法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種含微量稀土元素的鎳錸合金旋轉(zhuǎn)管狀靶,包括按質(zhì)量百分比計(jì)的如下組分:Re 2~5%,Zr 0.02~0.1%,B 0.05~0.1%,Mg 0.01~0.05%以及余量Ni和不可避免的雜質(zhì)。還公開了一種含微量稀土元素的鎳錸合金旋轉(zhuǎn)管狀靶的制備方法,包括真空熔煉、霧化鑄錠、燒結(jié)、熱等靜壓、熱鍛、熱軋、斜軋穿孔、退火,和機(jī)加工的步驟。