一種鉬鎳基多元合金旋轉(zhuǎn)靶材及其制備方法
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202110763518.0 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN113463053A | 公開（公告）日 | 2021-10-01 |
| 申請公布號 | CN113463053A | 申請公布日 | 2021-10-01 |
| 分類號 | C23C14/35（2006.01）I;B22F1/00（2006.01）I;B22F3/04（2006.01）I;B22F3/10（2006.01）I;B22F3/17（2006.01）I;B22F3/24（2006.01）I;B22F9/04（2006.01）I;C21D1/30（2006.01）I;C22F1/18（2006.01）I;C22C27/04（2006.01）I;B22F5/12（2006.01）I | 分類 | 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 吳宇寧;卿海標(biāo) | 申請（專利權(quán)）人 | 南京達邁科技實業(yè)股份有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 常孟 |
| 地址 | 211102江蘇省南京市江寧經(jīng)濟開發(fā)區(qū)殷巷九竹路鋪崗街379號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種鉬鎳基多元合金旋轉(zhuǎn)靶材及其制備方法，旋轉(zhuǎn)靶材原子組成是Mo100?x?y?NizTixAly，且X、Y、Z表示原子組成百分比，10≤X≤40，1≤Y≤20，1≤Z≤18；制備先將鉬粉、電解鎳粉和鈦鋁預(yù)合金粉末按比例混合，然后進行脫氧提純處理、進行球磨混合、灌粉振實處理、冷等靜壓成型、脫模、真空臥式燒結(jié)、旋鍛處理、退火處理得到鉬鎳鈦鋁合金管錠，最后通過機加工切片制成鉬鎳鈦鋁合金靶材。本發(fā)明制備過程能夠減少雜質(zhì)元素的引入，所生產(chǎn)靶材成分均勻、無偏析、晶粒細小，密度可達到理論值99%以上，能夠完全滿足目前大尺寸濺射靶材的鍍膜要求。z |
