一種含微量稀土元素的鎳錸合金旋轉(zhuǎn)管狀靶材及制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910869345.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN110484886B 公開（公告）日 2021-09-17
申請(qǐng)公布號(hào) CN110484886B 申請(qǐng)公布日 2021-09-17
分類號(hào) C23C14/35（2006.01）I;C22C1/04（2006.01）I;C22C19/03（2006.01）I;C22F1/10（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 吳宇寧;袁志鐘;卿海標(biāo) 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 南京達(dá)邁科技實(shí)業(yè)股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 柏尚春
地址 211102江蘇省南京市江寧經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)殷巷九竹路鋪崗街379號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種含微量稀土元素的鎳錸合金旋轉(zhuǎn)管狀靶材及制備方法，包括按質(zhì)量百分比計(jì)的如下組分：Re 2～5％，Zr 0.02～0.1％，B 0.05～0.1％，Mg 0.01～0.05％以及余量Ni和不可避免的雜質(zhì)。其制備方法包括真空熔煉、霧化鑄錠、燒結(jié)、熱等靜壓、熱鍛、熱軋、斜軋穿孔、退火、機(jī)加工等工藝。本發(fā)明為旋轉(zhuǎn)管狀靶材，不僅提高了材料的利用率，且利用熱加工與熱處理使得靶材組織細(xì)化均勻，質(zhì)量更高；本發(fā)明為整體靶材，氣體含量低，純度高，即使用完也可作為返料回爐，節(jié)約成本。