以雙氧水為反應(yīng)物的超臨界流體處理氧化鈮選通管的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210335342.3 申請日 -
公開（公告）號 CN114695659A 公開（公告）日 2022-07-01
申請公布號 CN114695659A 申請公布日 2022-07-01
分類號 H01L45/00（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 馬國坤;何哲;陳大磊;王浩 申請（專利權(quán)）人 湖北大學(xué)
代理機(jī)構(gòu) 北京金智普華知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 430062湖北省武漢市武昌區(qū)友誼大道368號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種以雙氧水為反應(yīng)物的超臨界流體處理氧化鈮選通管的方法，包括以下步驟：將氧化鈮選通管置于反應(yīng)腔體內(nèi)，向反應(yīng)腔體內(nèi)加入水和雙氧水；向反應(yīng)腔體內(nèi)通入超臨界二氧化碳流體，控制反應(yīng)腔體內(nèi)的壓力為2800～3200psi、溫度為110～130℃，反應(yīng)時間為1～2h。本發(fā)明的方法，采用超臨界二氧化碳流體技術(shù)，使用雙氧水和去離子水共同作為反應(yīng)性物質(zhì)，對已制備好的摻鈦氧化鈮選通管進(jìn)行處理，成功降低了器件的OFF態(tài)電流，大幅提高了選通比。由于雙氧水具有比去離子水更好的氧化性，相比單獨使用去離子水作為反應(yīng)物質(zhì)，采用雙氧水和去離子水共同作為反應(yīng)性物質(zhì)可以更好地鈍化材料和器件內(nèi)部以及不同材料界面處的缺陷。