一種增強太陽能背板水蒸氣阻隔性的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111104757.1 申請日 -
公開（公告）號 CN113921631A 公開（公告）日 2022-01-11
申請公布號 CN113921631A 申請公布日 2022-01-11
分類號 H01L31/048（2014.01）I;H01L31/049（2014.01）I;C23C16/40（2006.01）I;C23C16/455（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 許佳輝;張圳;柳翠;袁曉 申請（專利權）人 上海玻納電子科技有限公司
代理機構 上海順華專利代理有限責任公司 代理人 李鴻儒
地址 201102上海市閔行區(qū)蓮花南路2899號3A號樓103室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種增強太陽能背板水蒸氣阻隔性的方法，包括以下步驟：將支撐基材層所用材料放入到原子層沉積設備中，在支撐基材層的上面沉積無機氧化物獲得無機氧化物薄膜上層，在支撐基材層的下面沉積無機氧化物獲得無機氧化物薄膜下層，得到高水蒸氣阻隔性太陽能背板支撐基材；然后將高水蒸氣阻隔性太陽能背板支撐基材的一面與耐候氟碳薄膜層材料使用粘結劑進行復合，得到高水蒸氣阻隔性的太陽能背板；以市售常規(guī)180微米厚的PET基材為例，其水蒸氣透過率為1.746g/m2*24h，當在其表面進行雙面30納米厚的氧化鋁薄膜沉積后，得到的太陽背板的水蒸氣透過率降低到0.005g/m2*24h。