分布反饋式面發(fā)射激光器及其制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010674651.4 申請日 -
公開（公告）號 CN111725701A 公開（公告）日 2020-09-29
申請公布號 CN111725701A 申請公布日 2020-09-29
分類號 H01S5/12(2006.01)I;H01S5/10(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 蔡建新 申請（專利權）人 武漢仟目激光有限公司
代理機構 北京匯澤知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 武漢仟目激光有限公司
地址 430205湖北省武漢市東湖新技術開發(fā)區(qū)湯遜湖北路33號華工科技園·創(chuàng)新基地13棟1單元1層01號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及激光器技術領域，提供了一種分布反饋式面發(fā)射激光器，包括由上而下依次布設的襯底、中間層、接觸層以及金屬層，激光器還包括掩埋在中間層靠近所述接觸層的部分中的光柵層。還提供一種分布反饋式面發(fā)射激光器的制作方法，包括如下步驟：S1，由上而下依次布設襯底、上包層、上波導層、有源層、下波導層、下包層、接觸層以及金屬層；S2，在所述下包層中制作光柵層，或者是在所述下波導層中制作光柵層，或者是在所述下包層和所述下波導層之間制作光柵層。本發(fā)明通過將光柵層掩埋在中間層靠近接觸層的部分中，能夠完全保證接觸層不被損傷，使工藝處理可靠，容錯率高，從而明顯有效地提高良率。??