一種用于深紫外激光的圖形化藍寶石能量衰減片

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121689855.1 申請日 -
公開（公告）號 CN215986752U 公開（公告）日 2022-03-08
申請公布號 CN215986752U 申請公布日 2022-03-08
分類號 G02B27/14（2006.01）I 分類 光學;
發(fā)明人 徐琳;蔡德敏;沈振華 申請（專利權）人 蘇州納維科技有限公司
代理機構 蘇州國誠專利代理有限公司 代理人 李小葉
地址 215123江蘇省蘇州市中國（江蘇）自由貿易試驗區(qū)蘇州片區(qū)蘇州工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號蘇州納米城西北區(qū)20幢518室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種用于深紫外激光的圖形化藍寶石能量衰減片，包括藍寶石基片，該藍寶石基片的一面設有圖形結構；該圖形結構是將藍寶石平片的一面經過刻蝕形成；該圖形結構包括周期性排列的若干個圓錐形凸起以及位于圓錐形凸起之間的平面區(qū)；圓錐形凸起對經由藍寶石基片垂直入射的深紫外激光進行全反射，平面區(qū)對經由藍寶石基片垂直入射的深紫外激光進行透射。該圖形化藍寶石能量衰減片化學性能穩(wěn)定，機械強度高，易于處理和清洗，使用壽命長，且可用于高溫高壓等特殊環(huán)境，能夠實現對深紫外激光能量的定量衰減。