基于對(duì)合并式MEMS加速計(jì)傳感器斬波的降噪方法及電子電路

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710561498.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN107508601B 公開(kāi)（公告）日 2021-12-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN107508601B 申請(qǐng)公布日 2021-12-28
分類號(hào) H03M3/04（2006.01）I 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 喬納森·亞當(dāng)·克萊克斯;約恩·奧普里斯;賈斯廷·森 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海矽?？萍脊煞萦邢薰?/a>
代理機(jī)構(gòu) 上海申新律師事務(wù)所 代理人 俞滌炯
地址 200000 上海市長(zhǎng)寧區(qū)定西路1328號(hào)3樓307室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了基于對(duì)合并式MEMS加速計(jì)傳感器斬波的降噪方法及電子電路。其中，電子電路包括被配置為電連接到微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）傳感器電路的電容?電壓轉(zhuǎn)換電路。所述電容?電壓轉(zhuǎn)換電路包括：差分?jǐn)夭娐吠罚慌渲脼榻邮詹罘諱EMS傳感器輸出信號(hào)并對(duì)所述差分?jǐn)夭娐吠返臉O性進(jìn)行反轉(zhuǎn)；以及差分sigma?delta模數(shù)轉(zhuǎn)換器（ADC）電路，被配置為對(duì)所述差分MEMS傳感器輸出信號(hào)進(jìn)行采樣并提供表示所述MEMS傳感器中電容變化的數(shù)字信號(hào)。