一種三軸磁傳感器及其制備工藝

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111459362.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114220913A 公開（公告）日 2022-03-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN114220913A 申請(qǐng)公布日 2022-03-22
分類號(hào) H01L43/02（2006.01）I;H01L43/08（2006.01）I;H01L43/12（2006.01）I;G01R33/02（2006.01）I;G01R33/09（2006.01）I;G01R33/10（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 郭慧芳;肖勇 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海矽睿科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海金盛協(xié)力知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 嚴(yán)帥
地址 200050上海市長(zhǎng)寧區(qū)定西路1328號(hào)3樓307室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明揭示了一種三軸磁傳感器及其制備工藝，所述三軸磁傳感器包括第一磁感測(cè)機(jī)構(gòu)、第二磁感測(cè)機(jī)構(gòu)及第三磁感測(cè)機(jī)構(gòu)；第一磁感測(cè)機(jī)構(gòu)用以感測(cè)第一方向的磁場(chǎng)；第一磁感測(cè)機(jī)構(gòu)包括至少一根第一磁阻條；第二磁感測(cè)機(jī)構(gòu)用以感測(cè)第二方向的磁場(chǎng)；第二磁感測(cè)機(jī)構(gòu)包括至少一根第二磁阻條；第三磁感測(cè)機(jī)構(gòu)用以感測(cè)第三方向的磁場(chǎng)；所述第三磁感測(cè)機(jī)構(gòu)包括至少兩根第三磁阻條，各第三磁阻條設(shè)置于對(duì)應(yīng)溝槽的側(cè)壁；所述三軸磁傳感器的各溝槽中，存在相鄰兩個(gè)溝槽之間設(shè)有第一磁阻條或/和第二磁阻條的兩個(gè)溝槽，使得第三磁阻條與第一磁阻條或/和第二磁阻條交錯(cuò)設(shè)置。本發(fā)明可降低工藝加工誤差，提高工藝窗口，改善產(chǎn)品的整體良率。