四氯化硅加料裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021729447.X 申請日 -
公開（公告）號 CN212986772U 公開（公告）日 2021-04-16
申請公布號 CN212986772U 申請公布日 2021-04-16
分類號 F17D1/02(2006.01)I 分類 氣體或液體的貯存或分配;
發(fā)明人 葉高英;古忠濤;謝玉明 申請（專利權(quán)）人 蘇州英納特納米科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州領(lǐng)躍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王寧
地址 215000江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號蘇州納米城綜合樓中北區(qū)23棟214室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種四氯化硅加料裝置，用于提供氣態(tài)的四氯化硅，包括：四氯化硅儲罐、輸送泵、第一緩沖罐和加熱機(jī)構(gòu)；所述四氯化硅儲罐用于存放液態(tài)的四氯化硅，所述輸送泵通過管路分別連接所述四氯化硅儲罐和第一緩沖罐，所述輸送泵用于將所述四氯化硅儲罐的四氯化硅送入所述第一緩沖罐，所述加熱機(jī)構(gòu)用于對所述輸送泵和第一緩沖罐之間的管路進(jìn)行加熱以使管路內(nèi)液態(tài)的四氯化硅汽化，氣態(tài)的四氯化硅從所述第一緩沖罐向外送出。上述四氯化硅加料裝置能夠穩(wěn)定、均勻地送出氣態(tài)的四氯化硅。??