一種貼片設備及貼片方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111496735.4 申請日 -
公開（公告）號 CN114203596A 公開（公告）日 2022-03-18
申請公布號 CN114203596A 申請公布日 2022-03-18
分類號 H01L21/67（2006.01）I;H01L21/683（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 杜茂華 申請（專利權）人 通富微電子股份有限公司
代理機構 北京中知法苑知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 李明;趙吉陽
地址 226004江蘇省南通市崇川路288號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種貼片設備及貼片方法，該貼片設備包括光學投影單元、載片組件、光學感應組件和貼片單元；通過光學投影單元將預設芯片布局圖投影到載片組件上；光學感應組件設置在載片組件的下方，用于根據(jù)接收到的投影光線生成光強信號，以根據(jù)光強信號對芯片布局圖進行定位，以使得芯片布局圖完全落在載片組件內；貼片單元根據(jù)定位后的芯片布局圖在載片組件上進行貼片。該貼片設備無需在玻璃載板上制作定位標識，大大降低了成本，由于芯片布局圖是由光學投影單元完成，對于不同設計，可以很快調整芯片布局圖，開發(fā)周期大大降低。該貼片方法操作簡單，節(jié)約成本，開發(fā)周期降低。