薄膜體聲波諧振器及濾波器
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201921433456.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN211959173U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-11-17 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN211959173U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-11-17 |
| 分類號(hào) | H03H9/17(2006.01)I | 分類 | 基本電子電路; |
| 發(fā)明人 | 繆建民;張瑞珍 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 邁感微電子（上海）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京品源專利代理有限公司 | 代理人 | 邁感微電子（上海）有限公司 |
| 地址 | 201313上海市浦東新區(qū)萬(wàn)祥鎮(zhèn)宏祥北路83弄1-42號(hào)20幢118室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型實(shí)施例公開(kāi)了一種薄膜體聲波諧振器及濾波器，該薄膜體聲波諧振器包括：支撐結(jié)構(gòu)，所述支撐結(jié)構(gòu)內(nèi)部設(shè)置空氣隙；形成在所述支撐結(jié)構(gòu)上的自下而上排列的下電極、壓電層和上電極。本實(shí)用新型實(shí)施例提供的技術(shù)方案，增加了薄膜體聲波諧振器的機(jī)械牢固度，有效避免常規(guī)工藝犧牲層被灌入通孔的腐蝕液腐蝕不完全和腐蝕液清洗不干凈的問(wèn)題。?? |
