一種雙氣化真空鍍膜裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120090894.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN214458317U 公開(kāi)(公告)日 2021-10-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN214458317U 申請(qǐng)公布日 2021-10-22
分類(lèi)號(hào) C23C16/54;C23C16/455 分類(lèi) 對(duì)金屬材料的鍍覆;用金屬材料對(duì)材料的鍍覆;表面化學(xué)處理;金屬材料的擴(kuò)散處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆;金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 渠艷良;李雷 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 派珂納米科技(蘇州)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州創(chuàng)策知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 范圓圓
地址 215000 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)東富路32號(hào)4幢408室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種雙氣化真空鍍膜裝置,包括機(jī)架、分解管、分解爐、升華爐以及兩個(gè)并排設(shè)置的升華管;分解爐套設(shè)在分解管外且通過(guò)安裝支架固定安裝在機(jī)架上;升華管的進(jìn)料端設(shè)有端蓋,出料端安裝有閘閥;兩個(gè)升華管的出料端通過(guò)一個(gè)三通管與分解管的進(jìn)料端連通;升華爐通過(guò)移動(dòng)組件滑動(dòng)安裝在機(jī)架上;利用其中一個(gè)升華管鍍完一層膜之后,可直接將升華爐移動(dòng)到另一個(gè)升華管外進(jìn)行二次鍍膜,有效提高鍍膜效率的同時(shí)無(wú)需破真空就能完成雙層鍍膜,避免污染。