環(huán)氧膜覆膜夾具

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121988311.5 申請日 -
公開（公告）號 CN215554474U 公開（公告）日 2022-01-18
申請公布號 CN215554474U 申請公布日 2022-01-18
分類號 B65B33/02（2006.01）I;B65B41/06（2006.01）I 分類 輸送；包裝；貯存；搬運薄的或細絲狀材料;
發(fā)明人 徐軒濤;錢永學;賴亞明;周一峰;吳長春 申請（專利權）人 深圳昂瑞微電子技術有限公司
代理機構 北京市柳沈律師事務所 代理人 梁棟國
地址 518054廣東省深圳市南山區(qū)粵海街道高新區(qū)社區(qū)高新南四道18號創(chuàng)維半導體設計大廈西座407-408
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種環(huán)氧膜覆膜夾具，包括：基板工裝，所述基板工裝的形狀與基板的形狀相對應，用于定位基板，以及所述基板工裝具有用于與覆膜手柄合模的導向結構；覆膜手柄，所述覆膜手柄包括用于保護和支撐所述覆膜手柄的手柄外殼、吸附開關、吸盤、脫膜傳感器、合?；滓约盎瑒咏M件。