制備多晶硅的方法和系統(tǒng)以及提純三氯氫硅的方法和系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410260437.9 申請日 -
公開（公告）號 CN104003396B 公開（公告）日 2016-05-18
申請公布號 CN104003396B 申請公布日 2016-05-18
分類號 C01B33/03(2006.01)I;C01B33/107(2006.01)I 分類 無機化學;
發(fā)明人 李鋒;王利強;張艷春;濮希杰;張曉峰;高陽;隋永亮;莊志遠 申請（專利權）人 國電內蒙古晶陽能源有限公司
代理機構 北京清亦華知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 李志東
地址 010321 內蒙古自治區(qū)鄂爾多斯市準格爾旗大路新區(qū)東工業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提出了制備多晶硅的系統(tǒng)和方法以及提純三氯氫硅的方法和系統(tǒng)。其中，制備多晶硅的方法包括：(1)利用熱水分別對氫氣和三氯氫硅進行加熱，以便得到經過冷卻的熱水和經過加熱處理的氫氣和三氯氫硅，(2)使經過加熱處理的氫氣和三氯氫硅在還原爐內發(fā)生還原反應，以便得到多晶硅和還原尾氣，對所述還原爐進行水冷并得到第一熱水；(3)利用還原尾氣對經過冷卻的熱水進行加熱并得到第二熱水；以及(4)將第一熱水和第二熱水混合得到還原工段熱水，并將還原工段熱水作為精餾塔的熱源用于提純三氯氫硅，以便得到提純工段返回水；其中，第一熱水和第二熱水均為145～155攝氏度。利用上述方法可以實現(xiàn)水資源和熱能的循環(huán)利用，進而顯著節(jié)省能耗。