處理多晶硅還原尾氣的系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201820008881.5 申請日 -
公開（公告）號 CN208130781U 公開（公告）日 2018-11-23
申請公布號 CN208130781U 申請公布日 2018-11-23
分類號 B01D53/14;C01B7/07 分類 一般的物理或化學的方法或裝置;
發(fā)明人 王朝陽;王洪光;畢明鋒;李峰;王飛;彭述才;馮寶軍 申請（專利權）人 國電內蒙古晶陽能源有限公司
代理機構 北京清亦華知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 趙天月
地址 010321 內蒙古自治區(qū)鄂爾多斯市準格爾旗大路新區(qū)東工業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了處理多晶硅還原尾氣的系統(tǒng)。該系統(tǒng)包括：吸收塔，所述吸收塔具有多晶硅還原尾氣入口、四氯化硅入口、氫氣出口和含氯化氫富液出口；精餾塔，所述精餾塔具有含氯化氫富液入口、第一氯化氫混合氣出口、回收四氯化硅出口和高沸物出口；第一分凝器，所述第一分凝器具有第一氯化氫混合氣入口、第二氯化氫混合氣出口和三氯氫硅出口；第二分凝器，所述第二分凝器具有第二氯化氫混合氣入口、氯化氫出口和二氯二氫硅出口。該系統(tǒng)采用四氯化硅作為吸收劑吸收氯化氫，并通過對含氯化氫富液進行精餾，即可實現氯化氫、四氯化硅及高沸物的分離，極大地簡化工藝流程，達到了高效、節(jié)能、減小投資的目的。