液態(tài)源汽化裝置及其汽化方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201110130462.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN102230571A 公開（公告）日 2011-11-02
申請(qǐng)公布號(hào) CN102230571A 申請(qǐng)公布日 2011-11-02
分類號(hào) F17C7/04(2006.01)I 分類 氣體或液體的貯存或分配;
發(fā)明人 李東升;龔小雷;張敏 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海正帆超凈技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海申匯專利代理有限公司 代理人 上海正帆科技有限公司;上海正帆超凈技術(shù)有限公司;上海正帆半導(dǎo)體設(shè)備有限公司;上海正帆科技股份有限公司
地址 201108 上海市閔行區(qū)春中路56號(hào)106-108室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種液態(tài)源汽化裝置及其汽化方法，所述方法包括如下步驟：a)采用內(nèi)部電加熱或外部加熱的方式，使液態(tài)源在汽化容器中實(shí)現(xiàn)蒸發(fā)汽化；b)使用外部加熱使載氣進(jìn)入步驟a)中的汽化容器攜帶氣體鼓泡，鼓出的氣體中摻雜少量液態(tài)源蒸氣，從而實(shí)現(xiàn)鼓泡攜帶汽化；c)使用流量控制模塊、壓力控制裝置和溫度控制裝置共同調(diào)節(jié)汽化容器輸出的氣體量，并根據(jù)用氣量切換步驟a)中的蒸發(fā)汽化和步驟b)中的鼓泡攜帶汽化。本發(fā)明提供的液態(tài)源汽化裝置及其汽化方法，根據(jù)用氣量切換蒸發(fā)和鼓泡模式，使系統(tǒng)同時(shí)適用于不同用量的液態(tài)源汽化系統(tǒng)，大大改善了可操作性和靈活性。