一種力傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010195602.2 申請日 -
公開（公告）號 CN111256886A 公開（公告）日 2020-06-09
申請公布號 CN111256886A 申請公布日 2020-06-09
分類號 G01L1/18(2006.01)I;G01L1/14(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 繆建民;鐘華 申請（專利權(quán)）人 華景傳感科技（無錫）有限公司
代理機構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 華景傳感科技（無錫）有限公司
地址 214135江蘇省無錫市新吳區(qū)菱湖大道200號中國傳感網(wǎng)國際創(chuàng)新園F2
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明實施例公開了一種力傳感器，該力傳感器包括：殼體，殼體上設(shè)置有開口；壓縮結(jié)構(gòu)，密封設(shè)置于殼體的開口處，壓縮結(jié)構(gòu)與殼體形成空腔；壓力感測MEMS芯片，設(shè)置于空腔內(nèi)；ASIC芯片，設(shè)置于空腔內(nèi)，與壓力感測MEMS芯片電連接；其中，壓縮結(jié)構(gòu)與空腔接觸的內(nèi)表面上設(shè)有波紋結(jié)構(gòu)。由此，當壓縮結(jié)構(gòu)受到外力產(chǎn)生形變時，其內(nèi)表面的紋波結(jié)構(gòu)在外力的作用下產(chǎn)生較大的位移，使得空腔內(nèi)的空氣受到較大的壓縮，從而在一定程度上提高力傳感器的靈敏度，壓縮后的空氣施壓到壓力感測MEMS芯片表面，壓力感測MEMS芯片將檢測到的力轉(zhuǎn)換為電信號輸出到ASIC芯片，ASIC芯片將該電信號調(diào)理后輸出。該力傳感器能夠滿足新型智能終端產(chǎn)品的小型化設(shè)計和高靈敏度的結(jié)構(gòu)設(shè)計要求。??