一種壓電晶體稱重長(zhǎng)晶裝置及工作方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110114721.5 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN112430844B 公開(公告)日 2021-04-30
申請(qǐng)公布號(hào) CN112430844B 申請(qǐng)公布日 2021-04-30
分類號(hào) C30B15/28 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 張偉明;周偉;徐秋峰;洪宇峰;袁超;沈浩;汪萬(wàn)盾 申請(qǐng)(專利權(quán))人 天通控股股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 314412 浙江省嘉興市海寧市鹽官郭店建設(shè)路1號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及晶體生長(zhǎng)技術(shù)領(lǐng)域,尤其是一種壓電晶體稱重長(zhǎng)晶裝置及工作方法,該裝置包括設(shè)置在長(zhǎng)晶爐上的平衡杠桿(3),平衡杠桿(3)的下部設(shè)有支點(diǎn)(12);支點(diǎn)(12)左側(cè)的平衡杠桿(3)的下方裝有旋轉(zhuǎn)電機(jī)(2),旋轉(zhuǎn)電機(jī)(2)的下部與籽晶桿(13)相連,籽晶桿(13)的下端為籽晶(14);支點(diǎn)(12)右側(cè)的平衡杠桿(3)的上方裝有直線導(dǎo)軌(11),直線導(dǎo)軌(11)上裝有滑塊(10),滑塊(10)上可放置配重塊(9);支點(diǎn)(12)右側(cè)的平衡杠桿(3)的上方還裝有位于直線導(dǎo)軌(11)左側(cè)的電機(jī)(5),電機(jī)(5)通過(guò)聯(lián)軸器(6)與絲桿(7)相連,絲桿(7)通過(guò)絲桿螺母(8)連接并與滑塊(10)固定。