一種分子泵在線調(diào)試系統(tǒng)及調(diào)試方法
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201910468344.8 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN112012941A | 公開（公告）日 | 2020-12-01 |
| 申請公布號 | CN112012941A | 申請公布日 | 2020-12-01 |
| 分類號 | F04D19/04(2006.01)I | 分類 | 液體變?nèi)菔綑C(jī)械；液體泵或彈性流體泵; |
| 發(fā)明人 | 董欣;郁晉軍;劉敏強(qiáng) | 申請（專利權(quán)）人 | 北京四海祥云流體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京天馳君泰律師事務(wù)所 | 代理人 | 北京四海祥云流體科技有限公司 |
| 地址 | 101111北京市通州區(qū)興光四街1號院7號樓1層01-135 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及真空技術(shù)領(lǐng)域，特別地涉及一種分子泵在線調(diào)試系統(tǒng)及方法，該分子泵在線調(diào)試系統(tǒng)，包括：振動傳感器，其經(jīng)配置以檢測分子泵的振動特征；控制器，其經(jīng)配置以根據(jù)所述振動傳感器檢測的所述分子泵振動特征和轉(zhuǎn)速獲取去重重量；以及去重器，其經(jīng)配置以根據(jù)所述去重重量向所述分子泵的去重位置發(fā)射光束或電子。整個去重過程由控制器控制，可將去重質(zhì)量以及去重位置精確，轉(zhuǎn)子在運(yùn)轉(zhuǎn)中持續(xù)去重，無需反復(fù)啟停人工增減配重，并且每次去重都是新做試重，每次去重均自動重新計算，確保精確。另外，轉(zhuǎn)子的動平衡與研車工序可合二為一，進(jìn)一步節(jié)約時間。?? |
