一種電子級超純二氧化碳的生產(chǎn)方法及其產(chǎn)品

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811526828.5 申請日 -
公開（公告）號 CN109336113A 公開（公告）日 2019-02-15
申請公布號 CN109336113A 申請公布日 2019-02-15
分類號 C01B32/50 分類 無機化學(xué);
發(fā)明人 周大榮;俞健;陳志誠 申請（專利權(quán)）人 上海啟元氣體發(fā)展有限公司
代理機構(gòu) 上海申新律師事務(wù)所 代理人 上海啟元空分技術(shù)發(fā)展股份有限公司
地址 201800 上海市嘉定區(qū)和裕路150號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于氣體生產(chǎn)領(lǐng)域，特別涉及一種電子級超純二氧化碳的生產(chǎn)方法，還涉及通過該生產(chǎn)方法制得的電子級超純二氧化碳產(chǎn)品。該生產(chǎn)方法由液體二氧化碳汽化、加熱、脫硫、催化轉(zhuǎn)化、吸附干燥、制冷、提純等操作單元組成，用于提純工業(yè)級或食品級二氧化碳至電子級超純二氧化碳。該電子級超純二氧化碳的生產(chǎn)方法適于大規(guī)模工業(yè)化生產(chǎn)，安全可靠；并且，依據(jù)該生產(chǎn)方法制得的電子級超純二氧化碳產(chǎn)品中CO2的純度高達99.9995％以上，因此，滿足精密電子工業(yè)等領(lǐng)域的苛刻標(biāo)準與大規(guī)模需求?？傊?，本發(fā)明所提供的電子級超純二氧化碳的生產(chǎn)方法及其產(chǎn)品可得到廣泛應(yīng)用，具有良好的市場前景。