一種背面對(duì)準(zhǔn)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120508808.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN214751321U 公開(kāi)（公告）日 2021-11-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN214751321U 申請(qǐng)公布日 2021-11-16
分類(lèi)號(hào) G03F7/20（2006.01）I;G03F9/00（2006.01）I 分類(lèi) 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類(lèi)似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 劉棟;李偉成;張雷 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 源能智創(chuàng)（江蘇）半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 215399江蘇省蘇州市昆山市玉山鎮(zhèn)南淞路111號(hào)華平（昆山）智造園B-6號(hào)廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種用于直寫(xiě)式光刻設(shè)備確定基底精確位置的背面對(duì)準(zhǔn)裝置，該光刻設(shè)備的運(yùn)動(dòng)載臺(tái)裝置包括裝載部和設(shè)置于裝載部下方的多軸運(yùn)動(dòng)臺(tái)，裝載部與多軸運(yùn)動(dòng)臺(tái)之間有間隙；基底放置于裝載部上，其背面設(shè)置有背面對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，裝載部上對(duì)應(yīng)于基底的背面對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記設(shè)有透光孔；背面對(duì)準(zhǔn)裝置具體包括成像部、照明部、光路轉(zhuǎn)折部和鏡筒，成像部、照明部和光路轉(zhuǎn)折部通過(guò)鏡筒連接；光路轉(zhuǎn)折部位于透光孔下方，鏡筒部分位于間隙。通過(guò)使用鏡筒將背面對(duì)準(zhǔn)裝置部分設(shè)于裝載部與多軸運(yùn)動(dòng)臺(tái)之間的間隙，便于安裝拆卸。