一種曝光鏡頭的位置標(biāo)定裝置及其標(biāo)定方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110186041.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN112859545A 公開（公告）日 2021-05-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN112859545A 申請(qǐng)公布日 2021-05-28
分類號(hào) G03F7/20 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 劉棟;李偉成;張雷 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 源能智創(chuàng)（江蘇）半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 215399 江蘇省蘇州市昆山市玉山鎮(zhèn)南淞路111號(hào)華平（昆山）智造園B-6號(hào)廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種曝光鏡頭的位置標(biāo)定裝置，用于確定直寫式光刻設(shè)備的曝光鏡頭的位置坐標(biāo)，包括安裝于光刻設(shè)備的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上的四象限光電探測(cè)器和位于四象限光電探測(cè)器上方的光罩，光罩至少對(duì)應(yīng)于四象限光電探測(cè)器的一個(gè)象限設(shè)置有周期性分布的透光部與不透光部。通過曝光鏡頭產(chǎn)生相應(yīng)的光斑并移動(dòng)四象限光電探測(cè)器來確定曝光鏡頭的位置。通過設(shè)置周期性分布的透光部和不透光部能夠使得四象限光電探測(cè)器在光斑下移動(dòng)相同的距離，透射到探測(cè)器的光能則成比例的增加，提高了檢測(cè)靈敏度。